Polymere für Mikrochips

Burkhard Schulz erhielt Technologietransferpreis 2002

Anlässlich des 2. Technologie Transfer Tages am

6. Juni erhielten Dr. habil. Burkhard Schulz vom Interdisziplinären Forschungszentrum Dünne Organische und Biochemische Schichten der Uni­versität Potsdam(IFZ DOBS), und Matthias Schirmer, Geschäftsführer der Allresist Gesell­schaft für chemische Produkte zur Mikrostruktu­rierung mbH Strausberg den Technologietransfer­Preis 2002 der Technologie Stiftung Brandenburg für das erfolgreiche Projekt„Thermostabile Resists für die Mikroelektronik“. Mit Dr. habil. Burkhard Schulz sprach Dr. Wilfried Lamm von der Tech­nologietransferstelle der Uni(PITT).

Was muss man sich unter einem thermostabilen Resist vorstellen?

Schulz: Resists sind strahlenempfindliche Polymere, die nach der Belichtung durch eine Maske mit sichtbarem oder UV-Licht oder nach dem Beschuss mit Elektronenstrahlen ihre Eigenschaften so ändern, dass danach ein Abbild der Maskenstrukturen entwickelt werden kann. Die Bereitstellung von in ihren Funktionen opti­mierten Polymerresists war und ist eine ent­scheidende Voraussetzung für die Herstellung von Mikrochips und hochintegrierten Schaltkrei­sen.

Worin besteht die Innovation in dem Gemein­schaftsprojekt zwischen der Universität und dem Unternehmen?

Schulz: Die entwickelten Polymerresists zeichnen sich durch eine neue Qualität der Ver­arbeitbarkeit zu homogenen defektfreien Schich­ten ohne die bisher notwendige thermische Nachbehandlung(Curing) aus. Die Anwendung der Polymere führt durch Wegfall schlecht repro­duzierbarer Prozessschritte und durch Erhö­hung der Prozesssicherheit zu direkten Kosten­senkungen bei den Anwendern. Gemeinsam mit der Allresist GmbH und dem Institut für Dünn­schichttechnologie und Mikrosensorik Teltow konnte die Überführung der neuen Resistsma­terialien von der Laborsynthese in den kleintech­nischen Maßstab realisiert und die Markteinfüh­rung vorbereitet werden.

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Im Schleuderverfahren bekommen Siliziumscheiben eine Polymerresist-Schicht.

Wie funktioniert in Ihren Kooperationsbezie­hungen die Zusammenarbeit zwischen Wissen­schaft und Wirtschaft?

Schulz: Um innovative Funktionsmaterialien auf einem hohen Niveau entwickeln zu können, bedarf es der interdisziplinäiren Zusammenar­beit von Chemikern, Physikern, Technikern und weiterer Spezialisten, wie sie im IFZ DOBS orga­nisiert ist. Die kooperative Zusammenarbeit wurde unter anderem durch Projekte des Bundesministeriums für Wirtschaft und des Ministeriums für Wirtschaft des Landes Bran­denburg gefördert. Bei der Realisierung und im Management dieser Projekte hat uns die Tech­nologietransferstelle der Universität(PITT) maß­geblich unterstützt.

Welchen Nutzen haben die Partner von der Rea­lisierung des Technologietransfers?

Schulz: Durch die aktive Transferleistung werden, wie aus den Projektarbeiten selbst, neue Problemstellungen für die Grundlagenfor­schung im Schwerpunktbereich„Soft Matter“ der Universität Potsdam abgeleitet. Ein wesentli­ches Ergebnis der Kooperationsprojekte ist auch die Qualifizierung der Lehre. Nicht zuletzt wer­den bei den Unternehmen Arbeitsplätze lang­fristig gesichert.

Vielen Dank für das Gespräch.

Uni Aktuell www.uni-potsdam.de/portal /julo2/uniaktuell

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